首芯半导体盛大亮相湾芯展

     2025 年 10 月 15 日 - 17 日，第二届湾区半导体产业生态博览会（简称 “湾芯展”）在深圳会展中心热力启幕。作为半导体设备领域的创新力量，江苏首芯半导体科技有限公司（以下简称 “首芯半导体”）携核心产品重磅参展，以专业实力点亮展会现场。

     首芯半导体长期聚焦半导体制造核心环节，主攻两大关键方向，为产业提供全链条技术支撑：

半导体薄膜沉积设备：覆盖 12 英寸 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、PEALD（等离子体增强原子层沉积）、PEALE（等离子体增强原子层刻蚀）设备，适配先进制程芯片制造需求；

等离子体电源及配套部件：包含射频电源、直流电源、射频匹配器、阻抗传感器等核心部件，保障半导体设备稳定高效运行。

     本次湾芯展，首芯半导体集中展示 3 款薄膜沉积设备与多款配套电源部件，以 “高精度、高适配、高效率” 特性，彰显技术硬实力：

（一）薄膜沉积设备：适配多场景制程需求

（二）配套电源部件：优化设备性能

Cruiser Solo/Cruiser Duo两款自动阻抗匹配器能高效且精准使射频电源与PECVD腔体达成阻抗匹配，其阻抗匹配时间达到小于2秒，并可根据客户的需求，灵活定制阻抗匹配范围和输入输出接口。一台Cruiser Duo机型集合双频4组阻抗匹配于一体，为客户解决空间优化，利用率高效等问题。