首芯半导体 首台PECVD Amorphous Carbon 设备完成调试

我司完成90/65nm以下制程 Carbon薄膜工艺设备,

可以配合客户规格需求打样。

我司从6月11号立项,到9月初 RF power on, 10月9号 马拉松 & DOE数据整理完成

历时4个月完成Carbon设备开发到应用,达成阶段性目标。

我司RD 团队汇整DOE数据,可以快速匹配国内外其他厂商同类型设备的工艺规格

可根据客户需求进行工艺优化及提供建议,加快研发及量产进程。

我司优势与能力

相关产品需求，请联系 sales@afilmsol.com